Wegweisende Forschung für die Chipindustrie - Werner-von-Siemens-Ring 2024 geht an Forscherteam um Dr. Peter Kürz (ZEISS) und Dr. Michael Kösters (TRUMPF) für die High-NA-EUV-Lithographie
Berlin (ots) - Die Stiftung Werner-von-Siemens-Ring ehrt Forschende von ZEISS SMT und TRUMPF für die Entwicklung der High-NA-EUV-Lithographie und industrielle Nutzbarmachung der EUV-Technologie. Stellvertretend für das gesamte Team erhalten die Ehrung Dr. Peter Kürz (ZEISS SMT) und Dr. Michael Kösters (TRUMPF). ...
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