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ots Ad hoc-Service: Jenoptik AG <DE0006229107> Jenoptik-Tochter baut ihre Lieferbeziehung zu ASML deutlich aus und erhält Auftrag über fünf Jahre

Jena (ots Ad hoc-Service) -

Mitteilung gemäß Paragraph 15 WpHG, übermittelt von der DGAP
Für den Inhalt ist allein der Emittent verantwortlich
Jenoptik-Tochter baut ihre
Lieferbeziehung zu ASML deutlich aus und erhält Auftrag über fünf
Jahre.
JENOPTIK Laser, Optik, Systeme GmbH ist Lieferant von
Spezial-Komponenten für Wafer-Stepper.
Die JENOPTIK Laser, Optik, Systeme GmbH hat mit ASML eine
langfristige Rahmenvereinbarung über die Lieferung von Binärer Optik
geschlossen. ASML ist ein weltweit führender Hersteller
lithographischer Systeme (Wafer-Stepper und Step & Scan Systeme) für
die Halbleiterindustrie. Die JENOPTIK Laser, Optik, Systeme GmbH,
Führungsunternehmen des Jenoptik- Unternehmensbereichs Photonics
Technologies, wird über einen Zeitraum von mindestens fünf Jahren
spezielle binäre optische Bauelemente für ASML Wafer-Stepper liefern.
Binäre optische Bauelemente sichern exakte Chipstrukturen.
Die verkleinerte Abbildung der Chipstrukturen von Photomasken auf
Siliziumscheiben (Wafer) ist im Herstellungsprozess von Halbleiter-
Bauelementen mehrfach erforderlich. Diese Belichtung der Wafer
erfolgt in lithographischen Systemen. Die binären optischen
Bauelemente werden für die exakte Positionierung der Wafer im
Bildfeld des lithographischen Systems, die Kontrolle und Korrektur
der Abbildungseigenschaften der Projektionsoptik benötigt. Mit Hilfe
der binären optischen Komponenten können genau übereinander liegende
Funktionsschichten auf Chips erzeugt werden. ASML und Jenoptik haben
eine langfristige Zusammenarbeit vereinbart, da mit der zugrunde
liegenden Technologie auch zukünftige Chip- Generationen zuverlässig
gefertigt werden können.
Mit der Vereinbarung erweitern Jenoptik und ASML ihre
erfolgreichen Geschäftsbeziehungen, die bereits seit 1992 bestehen.
Jenoptik liefert beispielsweise optische Baugruppen für die Wafer-
Positionskontrolle und für die Laser- Strahlführung an ASML.

Kontakt:

Public Relations Jörg Hettmann Tel./Fax 03641-652255/ 2484

Investor Relations Steffen Schneider Tel./Fax 03641-65 2290 / 2157

Original content of: Jenoptik AG, transmitted by news aktuell

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