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Zeit	Stiftung Werner-von-Siemens-Ring: Meldungen vom 18.09.2024
10:09	Wegweisende Forschung für die Chipindustrie - Werner-von-Siemens-Ring 2024 geht an Forscherteam um Dr. Peter Kürz (ZEISS) und Dr. Michael Kösters (TRUMPF) für die High-NA-EUV-Lithographie